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硅透镜

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    硅透镜采用晶圆级微纳加工，通过黄光热回流或者纳米压印方式形成球面，再经等离子刻蚀调整将曲面形貌转移至硅基底，再搭配晶圆减薄以及AR薄膜工艺完成，用于硅光光束准直耦合。
      

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